產(chǎn)品特點(diǎn)
– 功能可選模塊化設(shè)計(jì)
– 緊湊型封口
– 高潔凈度、高可靠性、高精度
– 提供系統(tǒng)定制
– 傳輸振動(dòng)抑制控制
– 視覺檢測(cè)運(yùn)動(dòng)控制
核心技術(shù)
– 通信接口適配技術(shù)
– Dual-Arm控制技術(shù)
– 晶圓Mapping技術(shù)
– 晶圓360°旋轉(zhuǎn)控制
– 晶圓表面光源檢測(cè)
– 簡易化運(yùn)維管理平臺(tái)
| 硅片視覺檢查AVIS | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 300mm |
| 尺寸(mm) | 3436(W)*1850(D)*2180(H) |
| 節(jié)拍時(shí)間 | Min. 90 WPH ( Wafer inspection time : 15 sec. / per side） |
| 系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | Transfer Robot , Inspection Robot , Flip Unit , LPM , Open Cassette , FFU , Halogen、Lamp , lonizer , etc |
| 搬運(yùn)機(jī)器人&檢測(cè)機(jī)器人重復(fù)定位精度 | Within ± 0.1mm |
| 搬運(yùn)機(jī)器人活動(dòng)范圍 | 伸展：1215mm, Rotation: 330 deg, Up/Down: 480mm |
| 檢測(cè)機(jī)器人活動(dòng)范圍 | X , Y , Z Axis : 300mm , Yaw Axis : -90~90 deg , Tilt : -50~80deg，Wafer rotation :360 deg(CW , CCW) |
| 碘鉤燈 | YP-250I/YAMADA KOKAKU |
| 潔凈等級(jí) | Class 1 , ULPA Filter |
京公網(wǎng)安備11030102010672號(hào)
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