產(chǎn)品特點
– 適用對象：TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可檢測缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即時在線檢測
– 模塊化設(shè)計，標(biāo)準(zhǔn)化CIM通訊軟件
– 多軸高精度運動控制技術(shù)
– 完全非接觸式檢測技術(shù)
核心技術(shù)
– 完全非接觸式檢測技術(shù)
– 高精度運動控制技術(shù)
| LCD/OLED面板斷路/短路檢測設(shè)備 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 缺陷檢出率 | 99% |
| 檢測傳感器與玻璃之間的間隙 | 100±10μm |
| 各軸的重復(fù)定位精度 | 5μm |
| 可測試的電子線路最小寬度 | 2μm |
| 相鄰電子線路之間的間距 | 最小20μm |
| 可檢測基板厚度 | 最薄0.3mm |
京公網(wǎng)安備11030102010672號
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