產(chǎn)品特點
– 高潔凈度，高信賴性，設(shè)備正常運行率≥95%，技術(shù)國際先進
– 高傳輸速度，WPH＞300
– 高重復(fù)定位精度
– N? Purge系統(tǒng)，防腐蝕
– 快速設(shè)置
– 降低安裝風(fēng)險
核心技術(shù)
– 高潔凈度密封、凈化設(shè)計技術(shù)
– 平穩(wěn)快速搬運振動抑制技術(shù)
– 耐腐蝕性技術(shù)
– N? Purge技術(shù)
– 腐蝕氣體強制排氣技術(shù)
| 半導(dǎo)體設(shè)備前端模塊EFEM | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 300mm |
| 規(guī)格尺寸 (mm) | 2100 (W) * 750 (D) * 2600(H) |
| WTP (晶圓傳送高度) | 900~1380mm( From Floor) |
| 機器手：類型 | 無軌式 |
| 機器手：夾/臂 | 真空夾/雙臂 |
| 機器手：Z軸行程 | 480mm |
| 機器手：重復(fù)性精度 | ≤±0.1mm |
| LPM：數(shù)量 | 2~4Port |
| LPM：FOUP 開啟時間 | ≤12sec |
| LPM：選項 | 氮氣清洗，ID識別器，抗腐蝕 |
| 調(diào)整器 | 真空型 |
| FFU 過濾方式 | HEPA / ULPA 濾芯 |
| 涂層 | 防靜電抗腐蝕涂層 |
京公網(wǎng)安備11030102010672號
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