產(chǎn)品特點(diǎn)
– SEMI Standard Compliance
– 走行速度Max 320m/min
– 振動≤0.5G
– MTBF≥2000HR
– Up Time≥99.99%
核心技術(shù)
– 獨(dú)有的路徑探索算法專利
– 搭建Digital Twin平臺，OCS虛擬映像技術(shù)
– Log可視化技術(shù)
– 軌道匯合點(diǎn)雙重防撞技術(shù)
| 半導(dǎo)體自動物料搬送系統(tǒng)AMHS | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 型號 | SVA-OHT01 (FOUP OHT) |
| 載重 | Max 15 kg |
| 走行速度：直行速度 | Max 320m/min |
| 走行速度：彎軌速度 | 70m/min |
| 走行速度：防火安全門 | 200m/min |
| 走行速度：Acc / Dec | 1.96m/s2 / 2.94m/s2 |
| 伸出速度 | 40m/min |
| 伸出距離 | 960mm(-480mm ~ +480mm) |
| 升降速度 | 80m/min |
| 升降距離 | 3000mm |
| 可調(diào)角度 | ±10? |
| 軌道半徑 | 500mm |
| 走行停止精度 | ±0.5mm |
| 振動 | ≤0.5G |
| 分支/匯合方式 | VHL self switching |
| 規(guī)格尺寸 | 478.5（w）*896（D）*905（H） |
| 重量 | 115kg(含F(xiàn)OUP) |
| 供電方式 | CPS 方式 |
| 供電方式 | 1次電源：20KW |
| 供電方式 | 2次電源：2Kw |
京公網(wǎng)安備11030102010672號
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