產(chǎn)品特點(diǎn)
– 振動(dòng)≤0.5G
– MTBF≥2000HR
– Up Time≥99.99%
– 高重復(fù)定位精度,±1.0mm
核心技術(shù)
– 高潔凈設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)潔凈度 Class 10
– 故障診斷與預(yù)測技術(shù)
– 振動(dòng)抑制技術(shù)
| 自動(dòng)存儲(chǔ)倉庫Stocker | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 尺寸 | 300mm FOUP |
| 載重 | Max 15Kg |
| 行走:電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 行走:方式 | 軌道 & 輪子 |
| 行走:速度 | Max: 120m/min |
| 行走:加速度 | 1.5m/s2 |
| 伸出:電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 伸出:方式 | 同步帶+ 減速電機(jī) |
| 伸出:速度 | 最大 100m/min |
| 伸出:加速度 | 2.5m/s2 |
| 旋轉(zhuǎn):電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 旋轉(zhuǎn):方式 | 皮帶+減速電機(jī) |
| 旋轉(zhuǎn):速度 | 最大120Deg/sec |
| 取放裝置:電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 取放裝置:方式 | SCARA(Belt) |
| 取放裝置:取放時(shí)間 | 3s |
| 振動(dòng) | ≤ 0.5G |
| 噪音 | < 80db |
| 電源 | Cableveyor or CPS |