產品應用
– 標準化
– 模塊化
– 成膜均勻性高
– 材料利用率高
– 穩(wěn)定運營時間長
技術優(yōu)勢
– 高精密溫度控制技術
– 長時間運營穩(wěn)定性
– 真空熱系統(tǒng)蒸鍍模擬技術
| 蒸發(fā)源 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|---|
| 線源：運行時間 | ≥250小時 | |
| 線源：膜厚均勻性 | 有機材料：Host：≤1.5%；Dopant：≤2% | |
| 線源：膜厚穩(wěn)定性 | ≤1.5% | |
| 線源：再現(xiàn)性 | ≤1.5% | |
| 線源：速率穩(wěn)定性 | 有機材料：Host：≤±1%；Dopant：≤±2% | |
| 線源：溫度控制 | ≤0.2%或0.3℃ | |
| 線源：Clogging | No Clogging | |
| 點源：溫度控制 | R.T~1500攝氏度，≤±1℃ | |
| 點源：膜厚穩(wěn)定性：≤3% | ||
| 點源：再現(xiàn)性 | ≤3% | |
| 點源：速率穩(wěn)定性 | ≤3% |
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