In-line 蒸鍍設備
應用場景：應用于汽車尾燈、照明等PMOLED面板、WOLED面板、光伏鈣鈦礦電池量產
產品應用
– 各種基板尺寸
– Inline Type
– 標準化
– 模塊化
– 成膜均勻性高
– 運營穩(wěn)定
技術優(yōu)勢
– 定制化產品，可配置點源或線源
– 具備Auto PID，蒸鍍穩(wěn)定，成膜均勻
– 產品成熟，運行穩(wěn)定（MTFR≥720小時）
| In-line 蒸鍍設備 | 規(guī)格參數 |
|---|---|
| 基板 | Up to G8.5 |
| 生產節(jié)拍 | 60秒 (區(qū)分鍍層) |
| 生產時間 | ≥144小時 |
| 膜厚均勻性：有機材料 | ≤2% (片內)；≤2%(片間) |
| 膜厚均勻性：金屬材料 | ≤3% (片內)；≤2%(片間) |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）有機材料 | Host：≤±2%，@1.0?/s |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）Dopant | ≤±3%，@0.01?/s |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）金屬材料 | ≤±2%，@1.0?/s；≤±3%，@0.01?/s |
| 對位 | ≤±50μm(機械對位) |
| 系統(tǒng)控制 | 控制系統(tǒng)PLC，PC (GUI S/W) |
京公網安備11030102010672號
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