G2.5蒸鍍設(shè)備
應(yīng)用場景：應(yīng)用于OLED車燈和車顯、OLED照明、智能穿戴等小尺寸OLED面板量產(chǎn)
產(chǎn)品應(yīng)用
– 可蒸鍍基板尺寸370mm*470mm
– Cluster Type
– 標(biāo)準(zhǔn)化
– 模塊化
– 成膜均勻性高
– 使用光學(xué)對位，對位精度高
– 運營穩(wěn)定
技術(shù)優(yōu)勢
– 有機材料利用率高
– 可滿足客戶定制需求
– Particle 最少化
– 具備Auto PID，蒸鍍穩(wěn)定，成膜均勻
– 高信賴性，可實現(xiàn)長時間穩(wěn)定稼動生產(chǎn)（MTFR≥720hour）??
| G2.5蒸鍍設(shè)備 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 基板 | 370mm*470mm |
| 生產(chǎn)節(jié)拍 | 5分鐘 |
| 生產(chǎn)時間 | ≥144小時 |
| 膜厚均勻性：有機材料 | ≤2% (片內(nèi))；≤3%(片間) |
| 膜厚均勻性：金屬材料 | ≤3% (片內(nèi))；≤2%(片間) |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）有機材料 | Host: ≤±2%，@1.0?/s |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）Dopant | ≤±3%，@0.01?/s |
| 速率穩(wěn)定性（0.01?/s- 3?/s）金屬材料 | ≤±2%，@1.0?/s；≤±3%，@0.01?/s |
| 對位 | ≤±3μm（CCD） |
京公網(wǎng)安備11030102010672號
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